斷開製冷控製 , 製冷閥關(guan) 閉, 檢查真空計通訊接口有無鬆動, 分子泵轉速有無發生變化, 經檢查都正常, 說明真空機組的問題可以排除。

　　由於(yu) 低溫降溫階段出現真空曲線異常, 先觀察在常溫和高溫狀態下高真空曲線是否能夠達到高真空度要求, 該曲線顯示真空度能達到 2X10-3Pa以上, 工作正常, 說明從(cong) 主電源到各電磁閥的電氣線路正常, 電氣係統沒有問題。

　　雖然電氣係統沒有問題, 但在 2X10-3Pa真空條件下通入液氮製冷時, 此故障發生說明故障應該發生在試驗箱製冷環節。 首先對箱體(ti) 各抽氣接口的螺絲(si) 擰緊, 在液氮入口處充入壓力0.5kg左右的氮氣, 觀察此時高真空規顯示值有微小變化。

　　結合試驗箱的控製過程進一步確認故障原因。 因為(wei) 此設備熱沉采用壁厚1.5mm 紫銅板作腔體(ti) 料, 內(nei) 部液氮盤管用整根長的紫銅管製作, 由於(yu) 熱脹冷縮, 在真空室內(nei) 沒有焊縫, 故判斷液氮進入熱沉的外部聯接處可能有漏氣現象發生。 至此 , 可認為(wei) 產(chan) 生此故障的原因是電磁閥與(yu) 金屬波紋管連接真空室的連接處發生漏氣。

　　5將連接真空室的金屬波紋管拆開電磁閥發現其內(nei) 一塑料墊片因長時間高低溫試驗造成老化開裂, 對此電磁閥閥杆重新焊接, 在真空環境下對試驗箱體(ti) 熱沉充入液氮,真空度顯示達到 2X10-3Pa以上, 試驗箱工作正常。

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